Abstract

Diese Publikation untersucht Anwendungen des kürzlich zum Verkauf freigegebenen MEMS (Micro Electro Mechanical System) – basierten Prozess-Densitometers für Gas. Der Kern des Sensors ist ein in Resonanz schwingendes Silizium-Mikrorohr, das vom Prozessgas durchströmt wird. Aufgrund der sehr geringen Eigengewichtes von Siliziums und der Tatsache, dass das Messrohr in einem Vakuumhohlraum schwingt, wird selbst bei geringen Fluiddichten eine sehr gute Dichteempfindlichkeit erreicht. Der Sensor eignet sich daher perfekt für Gasdichteanwendungen mit einem mittleren Druckbereich zwischen 5 und 20 bar. Der mikrofluidische Sensor kann sowohl die Dichte wie auch die Temperatur messen. Zusätzlich wird der Druck entlang des fluidischen Pfades überwacht. Aus diesen gemessenen physikalischen Eigenschaften können in Echtzeit Qualitätsinformationen des gemessenen Gases wie Molmasse, Referenzdichte, spezifisches Gewicht, Gaszusammensetzung und Brennwert abgeleitet werden. Verschieden Prozessanwendungen werden mit experimentellen und theoretischen Ergebnissen dargestellt.