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Durchflusssensor FGF-Core

Der TrueDyne FGF-Core ist ein kompakter thermischer Durchflusssensor für die Integration in Mass Flow Controller und Mass Flow Meter. Er kombiniert schnelle Ansprechzeit, hohe Empfindlichkeit und geringen Energieverbrauch und ist damit ideal für präzise Gasdosierung in kompakten OEM-Systemen geeignet.

Anwendungsbeispiele:

  • Integration in Mass flow Controller oder Mass flow Meter Systeme
  • Wenig integrationsaufwand aufgrund vollwertiger Elektronik und Sensor Positionierung

Merkblatt

Kontakt

Hauptvorteil

Der TrueDyne Durchflusssensor wurde für schnelle und präzise Durchflussmessungen entwickelt. Dank des Membransystems wird die thermische Masse auf ein Minimum reduziert, wodurch eine sehr schnelle Ansprechzeit bei gleichzeitig geringem Energieverbrauch erreicht wird. Zusätzlich können Rohwerte auch kundenspezifisch ausgewertet werden bzw. auf die Applikation optimiert werden.

Neben der zuverlässigen Erfassung von Durchflussraten zeichnet sich der FGF durch eine hohe Empfindlichkeit aus und ist für den Einsatz unter unterschiedlichen Druckbedingungen (bis 16 bar a) sowie in verschiedenen Einbaulagen geeignet.

Der FGF-Durchflusssensor ist optimal für die Integration in kompakte Mass Flow Controller-Systeme mit begrenztem Bauraum konzipiert. Das mitgelieferte, präzise abgestimmte PCB ermöglicht eine einfache Integration und bietet zudem eine digitale Schnittstelle.

Anwendungen

Mass Flow Controller in Gasmischer

Der TrueDyne FGF-Durchflusssensor eignet sich ideal für den Einsatz in Mass Flow Controllern zur präzisen Regelung von Gasgemischen. Dank seiner hohen Empfindlichkeit und schnellen Ansprechzeit ermöglicht er eine exakte Dosierung einzelner Gasströme und unterstützt damit die stabile und reproduzierbare Einstellung komplexer Mischverhältnisse.

FLT-Mx Dosierung mit Durchflussmessgeraet

Coming Soon – Automatische Gasumschaltung

Wird die Gas Art geändert, so müssen thermische Durchflusssysteme manuell umgestellt werden. Dazu kommt üblicherweise eine vom Hersteller durchgeführte Echtgaskalibration. Dies führt zu einer erhöhten Lagerhaltung der unterschiedlichen Sensorvarian­ten sowie Kalibriergasen, was Mehrkosten verursacht, und die Verwechslungsgefahr erhöht. Mit der zukünftig automatischen Gasarterken­nung vom Dichtesensor, kann die Durchflusstabelle automatisch umgestellt werden und Prozessfehler werden verhindert.

Spezifikationen
Allgemein

Messgrösse:

  • Masse-/Volumenfluss
  • Temperatur
  • Outlook:
    • Dichte
    • Druck

Typische Medien:

  • Helium (He)
  • Stickstoff (N₂)
  • Sauerstoff (O₂)
  • Kohlenstoffdioxid (CO₂)
  • Argon (Ar)
  • Wasserstoff (H₂)
  • Air

Weitere Medien können ggf. nach Einzelabklärung
verwendet werden.

Messperformance

Messgenauigkeit:

Flow: ±3% v.E. Reingase, ±5% v.E. Gasgemische
Outlook:
• Dichte: ±0,1 kg/m³ (±0,05 kg/m³)
• Temperatur: ±0,8 ° C
• Druck: ±0,04 bar

Temperaturbedingungen
Zulässiger Temperaturbereich:

-20…+60 ° C

Einsatzbereich
Zulässiger Durchflussbereich:
Der Durchflussbereich ist stark vom kundenspezifischen Flow-Kanal abhängig. Der empfohlene Durchflussbereich, welcher direkt am Chip anliegt, ist ca. 0…600 sccm (bei Luft).

Zulässiger Druckbereich:
0…10 bar (absolut)

Dimensionen
Dimensionen der Leiterplatte:
• Länge: 55 mm
• Breite: 23 mm
• Höhe: 2,6 mm
Elektrische Schnittstelle
Elektrische Schnittstelle:

UART TTL 3.3 V (Mit Modbus Protokol)