Dichte- und Konzentrationsmessanwendungen für neuartige MEMS-basierte Mikro-Dichtesensoren für Gase

C. Huber, TrueDyne Sensors AG, Reinach BL (Switzerland), Endress+Hauser Flowtec, Reinach BL (Switzerland)

Abstract

Ein auf MEMS-Cantilever basierender resonanter Sensor zur Gasüberwachung, welcher piezoelektrisch betrieben und ausgelesen wird, wurde entworfen, simuliert, hergestellt und getestet. Als aktives Material für den piezoelektrischen Aktor und Sensor wurde Aluminiumnitrid (AlN) verwendet. Die mit COMSOL durchgeführte Simulation und die Messungen zeigen eine sehr gute Übereinstimmung. Das endgültige System, der Vollsensor für die Gasüberwachung, ermöglicht die Messung der Gasdichte und -viskosität bei Temperaturen zwischen 0 und 60 °C und Drücken zwischen 1 und 10 bar abs. mit Genauigkeiten von <0.03 kg/m³ bzw. 6%. Ein zweiter technologischer Lauf zur Verbesserung der Viskositätsmessgenauigkeit ist im Gange.

Event
18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016
2016-05-10 – 2016-05-11
Nürnberg, Germany

Band
SMSI 2020
Sensors and Instrumentation

Chapter
4.2 Neue Aspekte beim Nachweis von Gasen

DOI
10.5162/sensoren2016/4.2.2

ISBN
978-3-9816876-0-6

18.-GMA-ITG-Fachtagung-Sensoren-und-Messsysteme-2016-4.2.2-Sensoren2016_1

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