Teil 3 – Die MEMS-Technologie

Teil 3 – Die MEMS-Technologie

Die MEMS-Technologie

Auf einen Blick
Im Teil 2 haben wir die Schwingungsmessungsmethode kennengelernt. Der vorliegende Abschnitt behandelt die Entstehung der MEMS-Technologie bei TrueDyne Sensors AG. Die Technologie hat den MEMS-Sensor hervorgebracht, dessen Herzstück ein schwingender Silizium-Messkanal ist. Im Vergleich zur konventionellen Schwinger-Technologie vereint er zahlreiche Vorteile. Diese reichen von seiner geringen Grösse und einem breiten Anwendungsbereich über die exakte Dichtebestimmung von Gasen, auch bei geringem Druck, bis hin zu einer überaus schnellen Reaktionszeit.

Teil 2 – Die Schwinger-Dichtemessung

Teil 2 – Die Schwinger-Dichtemessung

Die Schwinger-Dichtemessung

Auf einen Blick
In Teil 1 haben wir die Grundlagen der Dichtemessung sowie die Definition von Dichte kennengelernt. Die aktuellen Seite widmet sich der Schwingungsmethode, die auch Dichtesensoren für die Dichtemessung verwendet. Aus dieser Methode ergeben sich einige Vor- und Nachteile, die ausführlich beleuchtet werden.

Teil 1 – Grundlagen der Dichtemessung

Teil 1 – Grundlagen der Dichtemessung

Grundlagen der Dichtemessung

Auf einen Blick
Hier erhalten Sie einen ersten Einblick in die Grundlagen der Dichtemessung. Sie erfahren, dass es sich bei der Dichte um eine temperatur- und druckabhängige Stoffeigenschaft handelt, die häufig mit der Einheit kg/m3 bzw. lb/ft3 angegeben wird. Der Dichtewert wird für die Bestimmung von Konzentration, mittlerer Molmasse und Gehalt benötigt. Wird die Dichte von Gasen ermittelt, muss beachtet werden, dass sie vom jeweiligen Druck abhängig ist. Die Dichte von Flüssigkeiten ist abhängig von der Temperatur