Teil 3 – Die MEMS-Technologie
Die MEMS-Technologie
Auf einen Blick
Im Teil 2 haben wir die Schwingungsmessungsmethode kennengelernt. Der vorliegende Abschnitt behandelt die Entstehung der MEMS-Technologie bei TrueDyne Sensors AG. Die Technologie hat den MEMS-Sensor hervorgebracht, dessen Herzstück ein schwingender Silizium-Messkanal ist. Im Vergleich zur konventionellen Schwinger-Technologie vereint er zahlreiche Vorteile. Diese reichen von seiner geringen Grösse und einem breiten Anwendungsbereich über die exakte Dichtebestimmung von Gasen, auch bei geringem Druck, bis hin zu einer überaus schnellen Reaktionszeit.